实用新型 已授权

一种硅晶棒的翻转装置

📄 申请号:CN202220161944.7 📄 发布日:2026/03/03

著录项目信息

申请日
2022-01-20
公开号
CN217371426U
公开日
2022-09-06
申请人
青岛睿拓威智能装备有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

光伏制造, 半导体制造, 硅晶棒切割, 硅片生产, 晶圆制造

摘要

本实用新型公开了一种硅晶棒的翻转装置,包括底板,底板的顶部竖直设置有竖板,竖板的表面通过转轴设置有安装板,安装板远离竖板的一侧开设有安装槽,安装槽的内部设置有调节组件,调节组件上设置有两个夹持组件;调节组件包括齿轮、第一齿板、第二齿板、两个移动块和两个第一连接板,安装板的内部设置有第一电机,第一电机的输出端延伸至安装槽的内部并与齿轮连接,安装槽的内部设置有第一齿板和第二齿板,第一齿板和第二齿板分别位于齿轮的顶部和底部,且第一齿板和第二齿板相互远离,且第一齿板和第二齿板均与齿轮啮合连接,安装板的内部设置有两个移动槽。这样大大提升了夹持组件对硅晶棒的夹持效果。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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议价
不含过户费

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