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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202011190698.X | 专利名称: | 一种用于集成电路精密加工设备的动态电压恢复器系统 |
申请日: | 2020-10-30 | 申请/专利权人 | 怀化学院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 湖南省怀化市鹤城区怀东路180号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | H02M5/458 分类检索 |
公开/公告日: | 2022-01-18 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN112421967B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
浏览量: | 6 | 所属领域: | 集成电路 精密加工设备专利转让搜索 |
应用场景:半导体晶圆厂光刻机等核心设备的瞬时断电保护;纳米级制程工艺中的电压稳定性保障;高端芯片生产线的不间断供电系统
摘 要:本发明公开了一种用于集成电路精密加工设备的动态电压恢复器系统,所述系统包括:多个电压传感器、多个动态电压恢复器、比例谐振闭环控制器、数据存储模块以及协议转换单元,多个电压传感器分别用于测量目标设备中多个敏感负荷侧的电压信号;比例谐振闭环控制器分别接收各个敏感负荷侧的电压信号并基于闭环控制生成补偿信号;多个动态电压恢复器分别接收所述比例谐振闭环控制器生成的补偿信号,并基于所述补偿信号输出相应的动态电压至所述供电网络。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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