发明专利已授权

一种用于集成电路精密加工设备的动态电压恢复器系统

📄 申请号：CN202011190698.X 📄 发布日：2025/09/19

著录项目信息

申请日

2020-10-30

公开号

CN112421967B

公开日

2022-01-18

申请人

怀化学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H02M5_458

IPC 分类号

H02M5_458 , H02J13_00 ,

技术画像

所属领域

电压暂降补偿电压暂降补偿电能质量治理电力电子变换

应用场景

集成电路制造, 半导体精密加工, 工业供电保障, 精密设备电压保护

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摘要

本发明公开了一种用于集成电路精密加工设备的动态电压恢复器系统，所述系统包括：多个电压传感器、多个动态电压恢复器、比例谐振闭环控制器、数据存储模块以及协议转换单元，多个电压传感器分别用于测量目标设备中多个敏感负荷侧的电压信号；比例谐振闭环控制器分别接收各个敏感负荷侧的电压信号并基于闭环控制生成补偿信号；多个动态电压恢复器分别接收所述比例谐振闭环控制器生成的补偿信号，并基于所述补偿信号输出相应的动态电压至所述供电网络。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220118

✅ 授权

20210316

?? 实质审查的生效：

20210226

📄 公开

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