实用新型已授权

一种反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨

📄 申请号：CN202420938722.0 📄 发布日：2025/09/19

著录项目信息

申请日

2024-04-30

公开号

CN222418587U

公开日

2025-01-28

申请人

山东鑫泓新材料有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F27D5_00

IPC 分类号

F27D5_00

技术画像

所属领域

碳化硅陶瓷碳化硅陶瓷反应烧结陶瓷悬臂桨

应用场景

半导体制造, 晶圆热处理, 扩散炉, 氧化炉, LPCVD

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摘要

本实用新型涉及碳化硅陶瓷悬臂桨技术领域，具体为一种反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨，包括悬臂桨杆和通气孔，所述悬臂桨杆的一端固定连接有承载杆；有益效果为：可以向一侧拉动悬臂桨杆，使悬臂桨杆的一端在延展桨杆的内侧向一侧滑动，同时带动一号滑块和二号滑块分别在一号滑槽和二号滑槽中向一侧滑动，将悬臂桨杆滑动到合适的长度后，再将定位杆插入限位孔中，随后顺时针旋转定位杆，使定位杆带动连接块滑入弧形槽中，定位杆限制住悬臂桨杆的滑动，可以快速延展反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨的长度，然后可以通过支撑板调节承载杆的底部面积，延展机构和限位机构有利于提高反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨的实用性和放置稳定性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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