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摘 要:本发明提供了一种微流控芯片协同热压键合调控方法,包括:根据微流控芯片功能要求设计微通道结构;微流控芯片热压键合预实验;判断微流控芯片热压键合质量是否达标;统计键合强度达标时微通道形变量;开展压缩蠕变实验构建材料本构模型;构建热压仿真模型开展仿真模拟;分析仿真结果,计算键合强度达标时微通道的形变量;判断材料本构模型是否精准;补偿微通道形变或增加聚能筋微结构;开展仿真模拟,计算并判断优化后微通道形变量是否达标;制备、进行热压键合质量验证,判断键合质量是否达标。本发明能够准确预测键合过程中微通道的变形,能够确定有效的方式来控制和最小化这种变形,确保微流控芯片的高结合强度和可靠性。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202410484371.5 | 专利名称: | 一种微流控芯片协同热压键合调控方法 |
申请日: | 2024-04-22 | 申请/专利权人 | 中南大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B01L3/00搜分类 集成电路搜索 |
公开/公告日: | 2024-07-23 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN118059974B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |