发明专利已授权

一种应力测试的清洁装置

📄 申请号：CN202211017169.9 📄 发布日：2026/06/16

著录项目信息

申请日

2022-08-24

公开号

CN115400991B

公开日

2023-06-02

申请人

金陵科技学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B08B1_00

IPC 分类号

B08B1_00 , B08B3_08 , B08B13_00 , G01L1_00 , F26B5_14 ,

技术画像

所属领域

应力测试半导体制造精密仪器维护清洁装置应力测试

应用场景

半导体晶圆应力测试前的清洁；精密机械部件应力检测前的表面处理；光学元件应力测试时的清洁维护

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摘要

本发明涉及应力测试技术领域，具体涉及一种应力测试的清洁装置，包括试样片，底板一侧安装有清洁装置，清洁装置一端设有传动组件，底板上方连接有主轴装置，主轴装置一侧安装有滑轨组件，通过主轴装置驱动传动组件，使得传动组件能够传动清洁装置对一个或多个试样片同时进行表面清洗并擦干，降低了人员劳动强度，减少了整个应力测试时间。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种Ag纳米线/聚氨酯柔性透明导电复合膜及其制备方法

当前第 / 件

一种复合可见光催化剂的制备方法

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