发明专利已授权

一种测量微纳器件延迟特性的测量装置和测量方法

📄 申请号：CN201410245661.0 📄 发布日：2026/08/03

著录项目信息

申请日

2014-06-04

公开号

CN104075875B

公开日

2017-05-24

申请人

常熟市知识产权运营中心有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01M11_00

IPC 分类号

G01M11_00

技术画像

所属领域

测量装置微纳器件延迟测量电子测试技术测量装置

应用场景

半导体器件测试, 集成电路测试, 微电子研发, 质量检测, 高速通信器件测试

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摘要

本发明公开了一种测量微纳器件延迟特性的测量装置和测量方法，该测量装置包括飞秒激光器、波长调谐器、光纤耦合器、第一3dB光纤耦合器、可调光延迟线、外接光纤、第二3dB光纤耦合器、光纤聚焦透镜、分束系统、凸透镜、非线性晶体、小孔光阑、柱透镜、CCD光谱仪、控制终端、待测微纳器件耦合系统以及用于控制非线性晶体进行转动的电动角位移台，外接光纤包括第一外接光纤和第二外接光纤，非线性晶体安装在电动角位移台上。本发明可以进行时域‑频域二维探测，可以直接测量得到微纳器件的延迟时间，测量成本低、效率高而且准确度高，可广泛应用于微纳器件延迟特性的测量领域中。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210323

⏳ 专利权人的姓名或者名称、地址的变更：

20200710

?? 专利权的转移：

20200515

?? 专利权的转移：

20200121

?? 专利权的转移：

20171229

⏳ 著录事项变更：

20170524

✅ 授权

20141029

?? 实质审查的生效：

20141001

📄 公开

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