实用新型已授权

高纯半导体特气吹扫系统的管路连接器

📄 申请号：CN201921577743.X 📄 发布日：2025/10/15

著录项目信息

申请日

2019-09-23

公开号

CN211344327U

公开日

2020-08-25

申请人

漳浦奇点机械科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16L21_08

IPC 分类号

F16L21_08

技术画像

所属领域

连接器半导体工艺设备高纯气体输送系统管路连接结构连接器

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 高纯气体吹扫, 特种气体供应, 晶圆加工设备

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摘要

本实用新型公开了高纯半导体特气吹扫系统的管路连接器，包括连接器和两个连接管，所述连接器的两端外侧均设有螺纹，两个所述螺纹上均设有与其螺纹连接的螺纹套，两个所述螺纹套上均设有限位机构，两个所述连接管分别位于连接器的两侧，两个所述连接管的外侧均固定连接有安装环，两个所述安装环上均贯穿设有四个安装口，两个所述连接管与连接器相对一端均设有密封机构，所述限位机构包括安装在螺纹套外侧并与其转动连接的环形板，所述环形板上固定连接有与四个安装口相匹配的L型限位块。本实用新型结构合理，便于实现对两个连接管的安装拆卸，操作方便，结构简单，密封性好且连接稳定。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种往复泵用具有稳定结构的移动架

当前第 / 件

一种水利水位监测装置

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