发明专利已授权

一种基于贴片超声电机驱动的微动台

📄 申请号：CN202411774027.6 📄 发布日：2026/08/17

著录项目信息

申请日

2024-12-05

公开号

CN119238435A

公开日

2025-01-03

申请人

福州云能达科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B25H1_00

IPC 分类号

B25H1_00 , B08B17_02 , B06B1_06 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

半导体制造设备, 精密测量仪器, 光学调整, 微纳加工, 生物显微操作

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摘要

本发明公开了一种基于贴片超声电机驱动的微动台，涉及微动平台领域，解决了现有的微动台易造成滑块带动磁吸附条与工作面之间产生横向位移的问题，包括：底座与固定安装于底座顶部的超声驱动座，超声驱动座的上方设置有工作台，工作台的底部固定安装有与超声驱动座相配合的磁吸导轨，底座的底部固定安装有两个呈对称分布的U形架，U形架的两端之间固定安装有滑杆；还包括：自锁机构，用于对工作台定位锁定，自锁机构安装于底座的顶部；本发明通过自锁机构，能够在超声驱动座断电时，对滑杆的底部进行多点位真空吸附，将滑杆快速固定，实现工作台的自动锁定，解决工作人员在触碰工作台时，易造偏移的问题，从而达到了快速锁定的效果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250418

✅ 授权

20250121

?? 实质审查的生效：

20250103

📄 公开

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当前第 / 件

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