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实用新型
已授权
一种用于超精密光学镜片的除尘装置
📄 申请号:CN202222486925.4
📄 发布日:2025/09/09
著录项目信息
申请日
2022-09-20
公开号
CN218574405U
公开日
2023-03-07
申请人
江苏鸿瑞光电科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
B08B3_02
IPC 分类号
B08B3_02
,
B08B1_04
,
B08B13_00
,
F26B21_00
,
技术画像
所属领域
除尘装置
除尘装置
超精密加工
光学镜片制造
应用场景
光学镜片加工, 精密制造, 半导体制造, 光电设备维护
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摘要
本实用新型公开了一种用于超精密光学镜片的除尘装置,主体上端设置有工作平台,工作平台一端设置有限位平台,限位平台上设置有镜片载具,工作平台内侧相对设置有横向丝杆,横向丝杆滑动连接有移动组件,工作平台远离限位平台依次设置有第一支架、第二支架、第三支架、第四支架,第一支架内表面设置有第一喷头,第二支架外表面设置有纵向丝杆,纵向丝杆滑动连接有擦洗组件,第三支架内表面设置有第二喷头,第四支架内表面设置有加热风扇;优点是:有效解决了现有的超精密光学镜片除尘装置,只能对镜片进行单面清洗,另一面需要人工翻转,而且除尘时大多是用水流进行冲洗,并反复擦拭,这样容易导致镜片表面留有擦痕,除尘不彻底的问题。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种防腐蚀的压力表
当前第 / 件
一种用于超精密光学镜片的载物台
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B08B3_00
B08B3_02
B08B3_04
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覆盖
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