发明专利已授权

MEMS热电堆传感器的测试方法及系统

Name: MEMS热电堆传感器的测试方法及系统
Brand: 江苏创芯海微科技有限公司
SKU: 2021112846209
Availability: InStock

📄 申请号：CN202111284620.9 📄 发布日：2026/04/21

著录项目信息

申请日

2021-11-01

公开号

CN113820045B

公开日

2022-05-31

申请人

江苏创芯海微科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01K15_00

IPC 分类号

G01K15_00

技术画像

所属领域

测试方法 MEMS传感器热电堆传感器传感器测试技术测试方法

应用场景

红外测温, 气体检测, 工业自动化, 智能家居, 医疗器械

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摘要

本发明涉及一种MEMS热电堆传感器的测试方法及系统。其包括微区光源以及显微成像系统，通过显微成像系统能观测到待测试MEMS热电堆传感器内所选择区域位置放大后的区域状态信息，并能根据所观察放大后的区域状态信息将微区光源产生的激光仅入射到待测试MEMS热电堆传感器内所选择的区域位置；利用微区光源对待测试MEMS热电堆传感器内当前所选择区域位置进行所需的激光辐照后，采集待测试MEMS热电堆传感器内当前所选择区域位置在相应激光辐照下的输出电压。本发明微区光源能精准定位，并实现对热电堆不同区域部位的直接辐照，以能获取热电堆不同区域部位的输出状态，从而为MEMS热电堆传感器的优化设计提供依据和指导。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220531

✅ 授权

20220107

?? 实质审查的生效：

20211221

📄 公开

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