实用新型已授权

一种等离子反应器阴极固定架的高压电源接触头

Name: 一种等离子反应器阴极固定架的高压电源接触头
Brand: 浙江惠尔涂装环保设备有限公司
SKU: 2020209851128
Availability: InStock

📄 申请号：CN202020985112.8 📄 发布日：2025/12/16

著录项目信息

申请日

2020-06-02

公开号

CN212915114U

公开日

2021-04-09

申请人

浙江惠尔涂装环保设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B01D53_32

IPC 分类号

B01D53_32

技术画像

所属领域

等离子体处理设备等离子体处理设备高压电源连接器电极固定装置

应用场景

半导体制造, 等离子体刻蚀, 薄膜沉积, 表面改性, 真空镀膜

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摘要

本实用新型公开了一种等离子反应器阴极固定架的高压电源接触头，包括顶针、壳体及压缩弹簧，所述壳体底部设有螺孔，壳体内放置有导向滑块，所述导向滑块内设有导向孔，所述顶针下端位于导向孔内与导向孔滑配，顶针上端向上穿出壳体并与壳体滑配，所述压缩弹簧位于壳体内并套设于顶针外，位于壳体内的顶针上设有限位块，压缩弹簧的上下两端分别与限位块、导向滑块弹性抵接。本实用新型在检修门打开后，顶针能与阴极固定架脱离，顶针与阴极固定架之间形成断路，高压电源被自动切断，使得检修时的安全性大大提高。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN212915114U

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该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种烘箱烘架的顶部搁置层高度调整结构

当前第 / 件

一种工件旋转喷涂夹紧装置

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