实用新型 已授权

双层水冷不锈钢真空室

📄 申请号:CN202022652353.3 📄 发布日:2026/08/31

著录项目信息

申请日
2020-11-16
公开号
CN213678108U
公开日
2021-07-13
申请人
沈阳市裕仁机械设备有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

真空镀膜, 真空热处理, 半导体制造, 真空熔炼, 科研实验设备

摘要

本实用新型公开了双层水冷不锈钢真空室,包括基座,所述基座的顶部固定安装有四个支撑腿,所述支撑腿的顶部固定安装有箱体,且箱体的背面设置有密封门,所述箱体内腔的四周固定安装有若干个连接架,所述连接架的另一端固定安装有内层。本实用新型可通过箱体与内层背面的密封门将材料放入内层内,打开真空泵,可通过抽气管将内层内部抽至真空,打开第二水泵,第二水泵将储液箱内的冷却液抽出并送入箱体与内层之间的水道中,可对内层进行换热,从而对内层内部的材料进行降温,打开第一水泵,可将变热的冷却液抽回储液箱内,打开制冷器对冷却液进行降温,从而使冷却液可重复利用,解决了现有的真空室不便于对内部散热的问题。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN213678108U

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该专利的转让价格是多少?

当前标价为 1400.0 元,不含过户费。支持议价,可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

¥1400.0 元
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:38 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 已报项目

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