实用新型 已授权

真空室加工系统

📄 申请号:CN202022642387.4 📄 发布日:2026/08/25

著录项目信息

申请日
2020-11-16
公开号
CN213671016U
公开日
2021-07-13
申请人
沈阳市裕仁机械设备有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

真空镀膜, 半导体制造, 材料表面处理

摘要

本实用新型涉及真空技术领域,具体揭示了真空室加工系统,包括底箱,所述底箱的顶部固定连接有真空室体,所述真空室体的前侧通过合页活动连接有门体,所述底箱内腔的左侧安装有真空泵体,所述真空泵体的底部连通有排气管,真空泵体的顶部连通有吸气管,吸气管的顶部贯穿底箱和真空室体并延伸至真空室体的内部。本实用新型通过风机的工作,风机通过吸尘管和吸尘罩对真空室体内的灰尘进行抽取,随后通过风机传递至排尘管的内部,由排尘管排出外部,达到了除尘效果好的优点,解决了现有的真空室加工系统在使用时除尘效果不好,往往真空室加工过程中其内部会留有灰尘,以至于加工产品质量大大降低,因此不便于人们使用的问题。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (B08B15_00)

B08B15_00 B08B15_02 B08B15_04 覆盖3个领域
¥1400.0
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:2 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 已报项目

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