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| 专利/申请号： | CN201610846947.3 | 专利名称： | 光掩模集成微塑型方法 |
| 申请日： | 2016-09-23 | 申请/专利权人 | 贾孝生 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 甘肃省兰州市城关区天水南路222号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G03F7/00 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2025-05-27 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN222909351U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 148 | 所属领域： | 其他专利转让搜索 |
摘 要：本发明提供一种简单低成本、可提高生产效率的光掩模集成微塑型方法，其包括如下步骤：S101、在显微镜载玻片的表面涂覆形成牺牲层，并进行烘焙；S102、向微型模具的型腔内滴入光刻胶，并盖上冷却后的显微镜载玻片；S103、对微型模具先进行曝光前预加热，即在50℃～100℃范围内选择多个温度由低至高地依次烘烤；S104、让微型模具在紫外线光源照射下曝光，使型腔内的纳米复合材料固化；S105：对微型模具进行曝光后烘烤，即在50℃～100℃范围内选择多个温度由低至高地依次烘烤；S106、将微型模具冷却到室温后，从模具中脱模，移走载玻片和三维微结构，并除去未交联的薄膜；S107、冲洗三维微结构，并进行干燥。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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