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摘 要:本发明涉及一种EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法,包括以下步骤:步骤1、采用酸液对高纯铝试样进行酸洗;步骤2、酸洗后高纯铝试样进行清洗并干燥;步骤3、干燥后高纯铝试样进行镶嵌;步骤4、镶嵌后高纯铝试样进行抛光处理;步骤5、抛光后试样进行EPMA观察和检测,应用Mapping分析功能对铟元素的含量和分布进行分析。本发明的分析方法简便、快速和准确,可克服已有成分检测技术具备的缺点,检测试样重复使用率高,不受外界引入其它杂质元素的干扰;不但可以检测出需检测元素含量,同时可通过面分析(Mapping Analysis)分析元素的分布位置,能够有效指导酸洗工艺的制定和实施。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010973484.3 | 专利名称: | EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布的分析方法 |
申请日: | 2020-09-16 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01N23/2252搜分类 铝业 铝材 金属铝提纯 纯铝纯化 纯铝生产 铝冶炼 铝熔炼 纯铝阴极溅射 铝检测搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |