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| 专利/申请号： | CN202010973484.3 | 专利名称： | EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布的分析方法 |
| 申请日： | 2020-09-16 | 申请/专利权人 | 宁波锦越新材料有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 浙江省宁波市北仑区柴桥街道青山路18号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G01N23/2252 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2022-04-22 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN112198184B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 3 | 所属领域： | 纳米材料专利转让搜索 |
应用场景：高纯铝靶材生产过程中的质量控制; 电子薄膜材料杂质检测; 半导体制造原料分析
摘 要：本发明涉及一种EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，包括以下步骤：步骤1、采用酸液对高纯铝试样进行酸洗；步骤2、酸洗后高纯铝试样进行清洗并干燥；步骤3、干燥后高纯铝试样进行镶嵌；步骤4、镶嵌后高纯铝试样进行抛光处理；步骤5、抛光后试样进行EPMA观察和检测，应用Mapping分析功能对铟元素的含量和分布进行分析。本发明的分析方法简便、快速和准确，可克服已有成分检测技术具备的缺点，检测试样重复使用率高，不受外界引入其它杂质元素的干扰；不但可以检测出需检测元素含量，同时可通过面分析（Mapping Analysis）分析元素的分布位置，能够有效指导酸洗工艺的制定和实施。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2024/10/18 | 专利权的转移 | 登记生效日: 2024.09.26 专利权人由宁波锦越新材料有限公司变更为天津市昊宁科技服务有限公司 国家或地区由中国变更为中国 地址由315000 浙江省宁波市北仑区柴桥街道青山路18号变更为301600 天津市静海区禹州尊府24号楼402室 |
| 2022/04/22 | 授权 | |
| 2021/01/26 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G01N 23/2252 专利申请号: 202010973484.3 申请日: 2020.09.16 |
| 2021/01/08 | 公开 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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