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摘 要:本发明在金属材料表面镀ZnO薄膜的方法,涉及材料表面改性领域。所述方法:将金属材料进行表面抛光处理和清洗,放入磁控溅射炉内,氧化锌置于靶位,金属材料与氧化锌的极间距为3-5 cm;将磁控溅射炉抽真空至真空度为1.0×10-4Pa-5.0×10-4Pa,充入氩气至压强为1-10 Pa,清洗和活化金属材料;充入氧气和氩气的混合气体至压强为20-35Pa,溅射功率50-80W,磁控溅射炉内的温度至320-380°C,保温;关闭电源,将磁控溅射炉内抽真空,冷却至室温出炉。该方法工艺简单,生产成本低;ZnO薄膜在磨损过程中具有明显的发光特性,且摩擦系数低、耐磨性好。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201310021022.1 | 专利名称: | 在金属材料表面镀ZnO薄膜的方法 |
申请日: | 2013-03-08 | 申请/专利权人 | 南京信息工程大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省南京市浦口区宁六路219号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/35搜分类 塑料搜索 |
公开/公告日: | 2015-03-25 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN103060764B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |