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摘 要:本发明公开了一种细长管状零件内表面真空镀膜装置,包括支撑座、支撑台以及两端通过密封脂分别安装有第一橡胶塞和第二橡胶塞的激光器放电管,还包括用于实现蒸发镀膜的复合镀头、用于监测与维持真空度的抽气系统、用于接通复合镀头并释放大电流的调压系统以及用于实现复合镀头匀速移动的传动系统;所述传动系统包括步进电机、电机控制器、同步齿形开口带、两个同步齿形轮、电极管夹持滑块、同步带压板、铝型材导轨、滚环以及电极管。本发明,其采用移动放电电极,以及采用了带有防触碰环的复合镀头,从而保证了在真空电镀过程中任何位置的放电强度与管壁距离一致,实现了能在细长管内壁的均匀镀膜,值得推广和普及。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810901298.1 | 专利名称: | 一种细长管状零件内表面真空镀膜装置 |
申请日: | 2018-08-09 | 申请/专利权人 | 南通大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省南通市崇川区啬园路9号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/28搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2020-06-02 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN108930018B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |