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摘 要:本发明涉及硅片清洗设备领域,尤其是一种避免损坏硅片的清洗设备,具体涉及自动清洗设备,包括清洗筒,清洗筒上设有回流机构,回流机构用于搅动清洗筒内的清洗液,清洗筒内还设有多个互不相连的钢网囊,钢网囊内均设有用于包裹硅片的软质网膜,软质网膜与钢网囊互不相连,钢网囊内均设有抖动机构,抖动机构包括多个弹性件,抖动机构上固设有夹持部,夹持部包括夹头,夹头用于卡夹硅片,夹头夹持硅片的端部上粘接有软膜,弹性件另一端连接在夹持部上,弹性件以夹持部为中心点均匀分布。本发明通过清洗液的流动来搅动清洗液中的硅片,并在搅动时使硅片进行抖动,清洗液在硅片表面形成细小的水流,使硅片与清洗液接触更充分,硅片清洗更彻底。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810333509.6 | 专利名称: | 自动清洗设备 |
申请日: | 2018-04-13 | 申请/专利权人 | 宁波德深机械设备有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省宁波市高新区扬帆广场8、20、32号9-5-070室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B08B3/10搜分类 清洗搜索 |
公开/公告日: | 2020-04-07 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN108480306B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |