咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
摘 要:本发明属于电弧离子镀技术关键部件阴极弧源装备领域,具体是指一种多模式调制弧源装置,包括弧头组件、引弧组件、安装板,弧头组件与引弧组件均固定在安装板上;弧头组件与安装板之间设有绝缘密封组件,弧头组件与安装板之间形成密封腔室;弧头组件包括阴极座、阴极盖,阴极座、阴极盖可拆卸安装组成阴极组件;阴极座远离阴极盖的一侧表面上设有靶材安装部,靶材安装部内连接有靶材;阴极座与阴极盖之间设有水冷内腔;阴极座及阴极盖上可分别装配不同模式的永磁体组,可有效控制靶面的磁场强度,提升弧光放电过程中弧斑的运动速度,从而可以有效的降低弧光放电过程中的大颗粒。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010412933.7 | 专利名称: | 一种多模式调制弧源装置 |
申请日: | 2020-05-15 | 申请/专利权人 | 温州职业技术学院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省温州市瓯海区东方南路38号温州市国家大学科技园孵化器 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/32搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2023-03-21 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN111621751B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |