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摘 要:本实用新型公开了一种滤光片真空镀膜装置,包括真空镀膜箱和储气室,所述真空镀膜箱的外壁一体设置有储气室,且储气室和真空镀膜箱之间通过管道连接有真空泵;本实用新型中,采用减速电机、轴杆、承载盘、夹持环、安装座构成滤光片镀膜用旋转机构,通过启动真空镀膜箱上安装的减速电机,促使减速电机输出端带动轴杆转动,进而轴杆带动固定于其表面的安装座转动,使得两个承载盘关于轴杆的轴心线旋转,直至承载盘的夹持环上的夹持的滤光片与真空镀膜箱内充斥的蒸发材料充分接触,实现滤光片的均匀镀膜,相较于现有居中旋转式镀膜结构,通过扩大滤光片在真空镀膜箱内部的旋转范围以达到与蒸发材料充分接触的目的。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202323004054.9 | 专利名称: | 一种滤光片真空镀膜装置 |
申请日: | 2023-11-07 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/24搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
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日期 | 法律信息 | 备注 |