发明专利 已授权

一种气泡定点生长的热气泡驱动微泵及制备方法

📄 申请号:CN202010301867.6 📄 发布日:2026/07/31

著录项目信息

申请日
2020-04-16
公开号
CN111472956B
公开日
2022-04-12
申请人
合肥名龙电子科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

应用场景

微流控芯片, 生物医药检测, 药物输送, 精密液体输送, 集成微流体系统

摘要

一种气泡定点生长的热气泡驱动微泵及制备方法,属于微流控技术领域。本发明是一种用于微流体输送的热气泡驱动微泵,具体为采用MEMS微加工技术制作的一种利用高频电流无线感应加热的热汽泡驱动微泵,在微泵内设有微加热盘,微加热盘上设计按一定规则形状排列的凹穴,使凹穴调整热汽泡的生长位置,通过控制热气泡周期性的膨胀和收缩,结合泵腔两侧微流道的阻力不同,最终微泵实现定向泵送。为了提高微泵的可靠性和工作频率,对微泵添加冷却装置,加强微泵在热汽泡收缩阶段的散热能力。本发明提出的微泵可广泛应用于航空航天、生物医学、化学等领域。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20240702
?? 专利权的转移 :
20220412
✅ 授权
20200825
?? 实质审查的生效 :
20200731
📄 公开

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