发明专利 已授权

一种大型ITO靶材储存箱

📄 申请号:CN201810936538.1 📄 发布日:2026/07/06

著录项目信息

申请日
2018-08-16
公开号
CN108891737A
公开日
2018-11-27
申请人
江苏比昂电子材料有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

应用场景

ITO靶材储存, 靶材运输, 半导体制造, 显示面板生产, 电子材料仓储

摘要

本发明公开了一种大型ITO靶材储存箱,包括主箱体、存储腔体和移动柜,所述主箱体的底端固定安装有固定支腿,所述主箱体的表面通过合页安装有密封门体,所述密封门体的表面通过销轴安装有曲柄把手,所述密封门体一侧的主箱体表面焊接有卡环,所述主箱体的内部设置有存储腔体,所述存储腔体内壁的表面边缘处通过合页安装有限位门板,所述存储腔体的内部活动安装有移动柜,且移动柜的表面设置有凹槽,所述移动柜的内部均匀设置有存放隔腔,所述存放隔腔的内部皆活动安装有转运架。本发明通过设置有一系列的结构,使得该靶材储存箱,可对大型靶材进行存储的同时,方便拿取和存放,可对储存箱内部进行减震处理,对靶材进行充分保护。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

……

……

图1
图2
图3

法律状态时间线

20241206
✅ 授权
20181221
?? 实质审查的生效 :
20181127
📄 公开

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