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| 专利/申请号： | CN202010424392.X | 专利名称： | 一种应用于多脉冲激光共沉积的靶材 |
| 申请日： | 2020-05-19 | 申请/专利权人 | 河南大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 河南省开封市顺河区明伦街85号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | C23C14/34 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2020-06-30 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN111349898A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 64 | 所属领域： | 激光专利转让搜索 |
摘 要：本发明提供了一种应用于多脉冲激光共沉积的靶材，包括可被独立拆装的圆形靶材模块和环形靶材模块，所述圆形靶材模块置于环形靶材模块中间固定成圆形靶材，圆形靶材模块和环形靶材模块的侧壁设有贯通孔，贯通孔内设有贯通柱，贯通柱的两端露出设置。本发明所提供的靶材结构，包括至少两个可被独立拆装的靶材模块，且该结构与现有的PLD靶托配合使用，解决了多部分可组装靶材在PLD设备中的脱落问题，这样，当某一个靶材模块随着工艺的进行己经消耗至需要更换的程度时，可以仅对该靶材模块进行更换，而其它的靶材模块则可被继续使用。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2022/02/22 | 授权 | |
| 2020/07/24 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): C23C 14/34 专利申请号: 202010424392.X 申请日: 2020.05.19 |
| 2020/06/30 | 公开 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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