一种应用于多脉冲激光共沉积的靶材

摘     要：本发明提供了一种应用于多脉冲激光共沉积的靶材，包括可被独立拆装的圆形靶材模块和环形靶材模块，所述圆形靶材模块置于环形靶材模块中间固定成圆形靶材，圆形靶材模块和环形靶材模块的侧壁设有贯通孔，贯通孔内设有贯通柱，贯通柱的两端露出设置。本发明所提供的靶材结构，包括至少两个可被独立拆装的靶材模块，且该结构与现有的PLD靶托配合使用，解决了多部分可组装靶材在PLD设备中的脱落问题，这样，当某一个靶材模块随着工艺的进行己经消耗至需要更换的程度时，可以仅对该靶材模块进行更换，而其它的靶材模块则可被继续使用。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2022/02/22	授权
  2020/07/24	实质审查的生效	IPC(主分类): C23C 14/34 专利申请号: 202010424392.X 申请日: 2020.05.19
  2020/06/30	公开