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专利详情
实用新型
已授权
一种集成光电子器件制造用清洁设备
📄 申请号:CN202322352448.7
📄 发布日:2025/11/10
著录项目信息
申请日
2023-08-30
公开号
CN221335584U
公开日
2024-07-16
申请人
哈尔滨爱之慧科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
B08B1_20
IPC 分类号
B08B1_20
,
B08B1_34
,
B08B1_40
,
B08B1_12
,
B08B13_00
,
技术画像
所属领域
光电子器件制造
光电子器件制造
半导体清洗设备
超净清洗技术
应用场景
光电子器件生产, 半导体芯片制造, 晶圆清洗, 精密光学元件清洁, 微纳加工
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摘要
本实用新型涉及电子器件清洁技术领域,本实用新型提供了一种集成光电子器件制造用清洁设备,包括机架和传送带,所述传送带安装于呈U型的所述机架的内部,所述传送带带面上设置有多个透气孔,所述机架进料端的两侧壁内侧均设置有导料板,所述机架进料端顶部中心横向设置有同步驱动两侧所述导料板的调距机构,所述机架内部还安装有配合所述传送带的负压吸附机构,所述机架顶部中心设置有清洁机构。能够带来准确导向器件、彻底清洁器件表面、增强制造效率和保证器件质量和性能等多重有益效果。这有助于优化器件制造流程,提高生产效率,同时确保最终产品的质量和可靠性。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20240716
✅ 授权
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未申报
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