咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
摘 要:本实用新型涉及光刻机领域,尤其是涉及一种光刻机领域液氦冷却后氦气的回收装置,包括降温箱和铰接在降温箱一侧外壁的箱门,所述降温箱的顶部外壁安装有安装架,且安装架中安装有气泵,所述气泵的输出端连接有连接管,且连接管的另一端连接有收集结构,所述降温箱的两侧外壁均连接有进气组件,所述箱门靠近降温箱的一侧外壁焊接有密封圈,且气泵的输入端与降温箱内部连通。本实用新型降温箱内部的液氦会向上飘,降温箱两边的进气组件将过滤后的空气带入降温箱中,收集后的混合气体,通过提纯后进行再次使用,相比于传统方式,有利于提高氦气的回收率,有利于减少成本,有利于减少稀有气体的浪费,节约资源。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202122136889.4 | 专利名称: | 一种光刻机领域液氦冷却后氦气的回收装置 |
申请日: | 2021-09-06 | 申请/专利权人 | 苏州咏昕恒能源科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省苏州市吴江区盛泽镇西二环路1188号中国盛泽纺织科创园10号楼103室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 关键词: | 其他 相似专利 |
公开/公告日: | 2022-01-28 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN215654342U | 交易状态: | 等待洽谈 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)与组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件 | 专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权未下证) | 专利证原件(若授权未下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |