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摘 要:本发明涉及一种移动掩膜微细电解加工装置及方法,包括电极丝、电极帽、电极座、支架、电解液进/出口和掩膜板;电极丝固定在电极帽上,电极帽通过螺纹联接固定在电极座上,电极座安装在支架上,支架固定在加工机床上,电极座可以在支架内上下滑动;掩膜板固定在电极座下端面,靠电极帽和电极座的重力作用将掩膜板压紧贴合在所加工工件表面,通过电解液进/出口完成电解液循环,排出电解加工产物。本发明能够通过单孔掩膜实现复杂微结构图案的刻蚀加工,通用性高、成本低、结构简单、装配使用方便,解决了加工不同微结构需要制备大量掩膜板的难题,尤其在掩膜微细电解加工中具有重要应用价值。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202210307523.5 | 专利名称: | 一种移动掩膜微细电解加工装置及方法 |
申请日: | 2022-03-25 | 申请/专利权人 | 燕山大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 河北省秦皇岛市海港区河北大街西段438号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B23H3/00搜分类 电子设备和元器件搜索 |
公开/公告日: | 2023-05-26 | 转让价格: | 27000.0元 |
公开/公告号: | CN114515874B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |