发明专利已授权

一种移动掩膜微细电解加工装置及方法

📄 申请号：CN202210307523.5 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2022-03-25

公开号

CN114515874B

公开日

2023-05-26

申请人

燕山大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23H3_00

IPC 分类号

B23H3_00 , B23H11_00 ,

技术画像

所属领域

微细电解加工微细电解加工电化学加工掩膜加工

应用场景

精密制造, 微细加工, 模具制造, 航空航天零部件加工

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摘要

本发明涉及一种移动掩膜微细电解加工装置及方法，包括电极丝、电极帽、电极座、支架、电解液进/出口和掩膜板；电极丝固定在电极帽上，电极帽通过螺纹联接固定在电极座上，电极座安装在支架上，支架固定在加工机床上，电极座可以在支架内上下滑动；掩膜板固定在电极座下端面，靠电极帽和电极座的重力作用将掩膜板压紧贴合在所加工工件表面，通过电解液进/出口完成电解液循环，排出电解加工产物。本发明能够通过单孔掩膜实现复杂微结构图案的刻蚀加工，通用性高、成本低、结构简单、装配使用方便，解决了加工不同微结构需要制备大量掩膜板的难题，尤其在掩膜微细电解加工中具有重要应用价值。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230526

✅ 授权

20220607

?? 实质审查的生效：

20220520

📄 公开

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