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摘 要:本发明公开了一种数字光栅辅助自动聚焦方法及装置,通过设置数字微镜器件DMD模块,经过照明光源照射后,生成数字光栅图形,通过设置投影镜头,可将数字光栅图形投射在三维平台上,通过设置观测模块和控制模块,可判断投影镜头是否离焦,然后控制三维平台完成粗聚焦,通过设置传感器模块,能够实时反馈三维平台位置信息,并通过控制模块调整三维平台,完成精聚焦;本发明能够实时聚焦,具有操作简便,快速自动聚焦的优点,同时数字微镜器件DMD模块取代物理掩膜版,节省制作掩膜版的时间成本和经济成本。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201911123146.4 | 专利名称: | 一种数字光栅辅助自动聚焦方法及装置 |
申请日: | 2019-11-16 | 申请/专利权人 | 安徽工程大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 安徽省芜湖市鸠江区北京中路8号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G02B7/28搜分类 半导体 光学加工 测量技术搜索 |
公开/公告日: | 2020-03-27 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN110927921A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |