发明专利 已授权

高灵敏度范围可控调节的真空计

📄 申请号:CN202010783562.3 📄 发布日:2026/04/02

著录项目信息

申请日
2020-08-06
公开号
CN111964835B
公开日
2021-07-30
申请人
王泽斌
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 真空镀膜, 真空热处理, 科研实验, 工业真空监控

摘要

本发明公开了高灵敏度范围可控调节的真空计,属于真空计技术领域,包括支撑组件、伸缩组件、转动衔接组件,所述支撑组件位于整套装置的最外侧,所述支撑组件内部设置有伸缩组件,所述伸缩组件上方设置有转动衔接组件,本发明科学合理,使用安全方便,本发明采用螺旋弧面滑槽实现褶皱橡胶密封筒收缩速度的缓冲,使驱动环跟随真空程度的位移速度降低,且位移过程更稳定,使操作人员能够对真空度变化进行有效的实时观测,真空度变化过程可观测性更高,本装置可根据真空检测需要制作螺旋弧面滑槽圈数不同的壳体,圈数越多真空度检测程度越精细,能够对极小幅度真空度变化进行检测读数,以适应工作环境下的不同需求。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20210730
✅ 授权
20210723
⏳ 专利申请权的转移 :
20201208
?? 实质审查的生效 :
20201120
📄 公开

同领域国内专利 · IPC: (G01L21_00)

G01L21_00 G01L21_30 覆盖2个领域
¥18000.0
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:55 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司
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