发明专利已授权

平面支承主动磁悬浮装置

Name: 平面支承主动磁悬浮装置
Brand: 南通理工学院
SKU: 2020107131771
Availability: InStock

📄 申请号：CN202010713177.1 📄 发布日：2026/04/20

著录项目信息

申请日

2020-07-22

公开号

CN111894978B

公开日

2022-04-26

申请人

南通理工学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

F16C32_04

IPC 分类号

F16C32_04

技术画像

所属领域

主动磁悬浮主动磁悬浮精密运动控制磁悬浮支承

应用场景

精密加工设备, 半导体制造装备, 超精密运动平台, 磁悬浮工作台, 真空环境物料传输

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摘要

本发明公开了一种平面支承主动磁悬浮装置，包括导板和滑箱，所述滑箱套接在所述导板外，所述导板包括平板本体以及设于所述平板本体正反面上的插板，所述滑箱上设有与所述插板相适配的凹槽部，所述滑箱内部安装有电磁铁安装座，所述电磁铁安装座上设有电磁铁。通过在导板上设置插板，使得导板的平衡位置接近实际平面，实际平面与理想平面之间的误差减小，颤振减轻。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种配置于建工实验室的检测装置

当前第 / 件

一种用于翼身对接螺旋铣孔的辅助定位装置及铣孔方法

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