发明专利已授权

一种单晶碳化材料加工设备的射流机构

📄 申请号：CN202110053593.8 📄 发布日：2025/08/26

著录项目信息

申请日

2021-01-15

公开号

CN112899742A

公开日

2021-06-04

申请人

常州机电职业技术学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C25D5_08

IPC 分类号

C25D5_08 , C25D5_54 , C25D17_08 ,

技术画像

所属领域

射流加工技术射流加工技术单晶材料加工材料加工设备

应用场景

单晶碳化硅加工, 半导体晶圆制造, 精密切割, 难加工材料加工, 超硬材料加工

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摘要

本发明公开了一种单晶碳化材料加工设备的射流机构，它包括支撑底座、固定架、加工装置、承载盘座、射流组件、主调节架体和过滤净化组件；所述支撑底座的上端面一侧垂直固定有固定架，所述固定架上安装有加工装置；所述支撑底座的上端面中心位置通过支撑柱支撑固定有承载盘座；所述射流组件以承载盘座的中心为轴心可绕承载盘座进行圆周旋转运动；所述主调节架体可对射流组件的水平面喷流角度进行局部调整，主调节架体通过内部旋转作用也可使射流组件在一定圆周范围程度上进行喷流。本发明能实现精确定位喷射、大面域喷射以及循环利用电解液，既便于加工也能节约加工成本，提高加工效率的同时还能保证加工件的性能。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220201

✅ 授权

20210622

?? 实质审查的生效：

20210604

📄 公开

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¥24000.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：90 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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