发明专利已授权

一种复合量程气压传感器和高精度探空气压测量装置

📄 申请号：CN201810344418.2 📄 发布日：2026/08/10

著录项目信息

申请日

2018-04-17

公开号

CN108332898B

公开日

2023-05-09

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01L7_08

IPC 分类号

G01L7_08 , G01L9_06 , G01L19_06 , G08C17_02 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

气象探空, 高空气象观测, 大气环境监测, 气象自动站, 无人机气压测量

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摘要

本发明公开了一种复合量程气压传感器，包括自下而上依次叠放的玻璃基底层、硅底层、绝缘二氧化硅层和玻璃空腔，硅底层底部向上设置有两级凹槽，凹槽上方设有内膜片和外膜片，外膜片比内膜片的厚度厚，内膜片为内部气压传感器的受力应变薄膜，外膜片为外部气压传感器的受力应变薄膜；绝缘二氧化硅层上表面放置了内外两组套嵌的由4个硅纳米线压敏电阻构成的惠斯通电桥。本发明还公开了一种高精度探空气压测量装置，本发明提高了传感器的可承受最大压力，由于使用了较厚的外膜，因此可以使用更薄的内膜片，从而实现了更高的灵敏度，有效的减小了数据测量误差，满足了高精度气压测量装置的需求。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230509

✅ 授权

20180821

?? 实质审查的生效：

20180727

📄 公开

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议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：6 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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