一种套装靶材的制备方法

摘     要：本发明提供了一种套装靶材的制备方法，包含以下步骤，步骤1，圆形靶材模块制备；步骤2，一个或多个环形陶瓷靶材模块制备，圆形靶材模块的直径和一个或多个环形靶材模块的内径和外径尺寸满足嵌套关系；步骤3，贯通孔制备，在圆形靶材模块和一个或多个环形陶瓷靶材模块的侧部制备贯通孔；步骤4，组合靶材，利用贯通柱将圆形靶材模块和一个或多个环形陶瓷靶材模组装成套装靶材。通过该方法制备的靶材，解决了多部分可组装靶材在PLD设备中的脱落问题，利用不同的激光，同时聚焦于不同的靶材模块，靶材模块的材料不同，实现了PLD的共沉积。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注