发明专利 已授权

一种阵列式多孔氧化物薄膜的制备方法

📄 申请号:CN202010031571.7 📄 发布日:2025/10/16

著录项目信息

申请日
2020-01-13
公开号
CN111185349B
公开日
2022-05-20
申请人
深圳万知达企业管理有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

气体传感器, 催化剂载体, 锂离子电池, 光电探测器, 环境监测

摘要

本发明实施例提供了一种阵列式多孔氧化物薄膜的制备方法,该方法先将衬底置于过滤篮底部,再将过滤篮浸入前驱体溶液中,向前驱体溶液表面滴加微球溶液,然后向上提升过滤篮至过滤篮底部离开前驱体溶液,取出衬底并加热,得到前驱体薄膜,将前驱体薄膜升温后烧结,即得所述阵列式多孔氧化物薄膜。该制备方法通过更换微球溶液中的微球,采用不同粒径大小的微球即可实现对氧化物薄膜上孔径大小的调节,适用于单一金属氧化物多孔薄膜,也可以适用于多元金属氧化物多孔薄膜,适用范围广,无需昂贵的设备和精确的控制即可制备,工艺简单,生产成本低。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

……

……

图1
图2
图3

法律状态时间线

20240319
?? 专利权的转移 :
20220520
✅ 授权
20200616
?? 实质审查的生效 :
20200522
📄 公开

同领域国内专利 · IPC: (B05D1_18)

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