本发明公开了一种应用于毫米波波段的三维集成全对称变压器巴伦,包括沿从上至下设置的两层二氧化硅隔离层,位于上层的二氧化硅隔离层上分布有顶层RDL金属布线圈A和顶层RDL金属布线圈B,位于下层的二氧化硅隔离层上分布有一组底层RDL金属布线圈,该底层RDL金属布线圈位于顶层RDL金属布线圈A和顶层RDL金属布线圈B之间,且顶层RDL金属布线圈A和顶层RDL金属布线圈B与底层RDL金属布线圈之间通过TSV圆柱连接。本发明设计的巴伦结构能够有效减少巴伦的体积,同时提高变压器巴伦的平衡性。
📄 2022117037281
📂 H10W44_00
👤 西安理工大学
📅 2022-12-29