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本发明涉及基于石墨烯压阻效应的微波功率传感器，包括衬底、共面波导传输线、质量块、固支梁和石墨烯压阻块；衬底上中间设置共面波导传输线且衬底上两边设置地线，固支梁固定在地线上且共面波导传输线位于固支梁下方；质量块位于固支梁上方，石墨烯压阻块位于共面波导传输线和固支梁中间；石墨烯压阻块的一端通过第一传输线与电流输入端口相连，石墨烯压阻块的另一端通过第二传输线与电流输出端口相连。本发明的传感器利用石墨烯的压阻效应，不仅极大地提高了传感器的灵敏度，并且由于石墨烯零带隙的特殊结构，还能提高微波信号检测功率的精度和系统本身的稳定性，同时具有体积小、便于集成、结构简单等诸多优点。

本发明涉及基于复合拱形梁的微波功率传感器，包括衬底、共面波导传输线和复合拱形梁；衬底上中间设置共面波导传输线且两边设置地线，复合拱形梁通过锚区固定在地线上且位于复合拱形梁下方；复合拱形梁由中间的弹性材料及上下包裹的石墨烯薄膜构成，上层石墨烯薄膜和下层石墨烯薄膜的一侧通过锚区相连，另一侧设置两个输出端口，上层石墨烯薄膜和下层石墨烯薄膜各连接一个输出端口。本发明克服了传统梁结构由于本身物理性质的限制不能增加梁长度的问题，不仅极大地提高了传感器的灵敏度，并且由于拱形结构本身的物理性质，还能提高微波信号检测功率的精度和系统本身的稳定性。