本发明提出三通道微波功率传感器,采用MEMS平面加工工艺,具有体积小,集成度高等优点。三通道包括电阻式、电容式和热电式,利用电阻式传感器,可以极大地提高待测微波信号的功率范围,在微波信号较弱的时候通过热电式传感器,在微波信号较强的时候通过电容式传感器,在微波信号很强的时候通过电阻式传感器,通过对微波信号进行分通道测量可以提高检测信号的精度。综上所述,本三通道微波功率传感器具有精度高、测量范围大、灵敏度高等优点。
📄 201910035744X
📂 G01R21_02
👤 南京邮电大学
📅 2019-01-15