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本发明涉及全氮化物耐候性光热涂层及其制备方法，以铜、铝或铁素体不锈钢作为基材，依次包括第一吸收亚层、第二吸收亚层、氮化硅减反层，先通氩气和氮气以铜、铝或铁素体不锈钢作为基材，以TiAl为靶材直流溅射，再使基材位于TiAl靶材和Si靶材两靶材之间共溅射，再使基材正对Si靶材溅射。本发明所制备吸收层，有两个吸收亚层组成，相对于传统膜系中的多层（≥3）梯度结构生产工艺更为简便，且为无氧涂层体系，耐候性好，适合在国内太阳能光热产业现有的真空镀膜设备上推广，可用于制备平板太阳能集热板芯，应用前景良好。

📄 2013102028276 📂 F24J2_48 👤 泰安泰山科技有限公司 📅 2013-05-27

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一种全氮化物耐候性光热涂层及其制备方法

2013102028276 · 泰安泰山科技有限公司

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