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本实用新型公开了一种微型真空气泵，涉及气泵技术领域。包括电机以及由电机驱动的气泵组件，气泵组件包括底座、设置于底座一侧的碗座、设置于碗座内部的皮碗、由电机驱动带动皮碗进行往复运动摆动架、设置于皮碗一侧且用于皮碗给排气的阀板以及设置于阀板一侧的上盖，电机设置于底座的一侧，电机的输出端延伸至碗座的内部并传动连接有偏心块，皮碗包括至少三个密封套且三个密封套的一端均与摆动架的一侧活动连接。通过设置电机以及气泵组件，启动电机，通过摆动架带动皮碗往复运动，通过伞丁将空气通过出气口排出，伞丁上的硅胶薄膜配合硅胶凸起，运动过程产生的噪声明显降低，使用更加静音，符合经济效益，应用前景广阔。

本实用新型公开了一种具有正反转控制充气和排气的微型泵，包括有下壳体、中壳体、上壳体、设置于中壳体与上壳体之间的塔型活塞片、设置于塔型活塞片底部的活塞架、设置于下壳体底部的电机、设置于电机主轴上并用于驱动活塞架摆动的驱动块及设置于驱动块与活塞架之间的钢针，塔型活塞片上设置有向上开口的月牙形进气阀片，以及向下开口的月牙形出气口阀片；上壳体的中心设置有穿过塔型活塞片和中壳体连通下壳体的出气嘴，活塞架与中壳体之间设置有能够抵压于中壳体下端封堵出气嘴端部并用于反向排气的密封垫；驱动块上设置有用于与钢针对接的螺旋轨道。

本实用新型公开了一种具有弹性体自动回弹控制排气的微型泵，包括：下壳体1、中壳体2、上壳体3、设置于中壳体2与上壳体3之间的塔型活塞片4、设置于塔型活塞片4底部并用于推动其工作的活塞架5、设置于下壳体1底部的电机6、设置于电机6主轴上并位于下壳体1内的驱动块7及设置于驱动块7与活塞架5之间的钢针8，上壳体3上设置有充气嘴31和排气嘴32，且充气嘴31与排气嘴32之间设置有排气道34连通，其中，充气嘴31用于气泵向外供气，排气嘴32用于反向排气，当微型泵工作时，气体从充气嘴31流出进行供气，当微型泵停止工作时，气体从充气嘴31进入经排气通道34后，从而排气嘴32反向排出。

本发明属于微流体传输领域，具体涉及一种压电气体泵。泵体上设有出入孔、至少两个直径依次减小体腔及与体腔数量相等的储气室，体腔上设有进口腔和与储气室连通的出口腔，出入孔分别与其相邻体腔的出口腔和进口腔连通，相邻体腔的进出口腔连通；进出口腔与其内所装阀片构成进出口阀；两个泵体相连接并经密封圈将换能器压接在其体腔内，换能器为单个压电振子或由两个压电振子及其中间压接的垫圈构成，压电振子包含驱动器和传感器；换能器及密封圈与泵体构成泵腔，一个泵体上的泵腔串联成一个泵单元，两个泵单元并联；各驱动器及传感器经不同导线组与驱动电源相连，驱动电源输出给驱动器直流电压信号并根据传感器感应电压的变化使驱动电压换向。

本发明属气动技术领域，具体涉及一种自驱式气动装置。带进出口阀的左右端盖装在壳体的两端并与缸腔及活塞形成左右缸腔；壳体上下两侧装有盖板，盖板经密封圈将换能器压接在壳体的沉腔内并形成内外泵腔；盖板将密封环压接在壳体的连通腔内并形成缓冲腔；出孔与内泵腔串联成内泵，进孔与外泵腔串联成外泵，壳体上下两侧的内外泵经缓冲腔分别串联成上下供气单元；上下供气单元经管路串联，下供气单元的出孔与左右进口阀连接；换能器由两个驱动器及垫圈构成，驱动器由基板与压电片构成；驱动器含有驱动和传感单元，驱动单元受直流电压作用变形并使传感单元输出电压达到极值时驱动电压换向并实现自激驱动；传感电压还用于表征活塞运动速度和驱动力。

本发明属于微流体传输领域，具体涉及一种压电晶片泵。泵体上设有出入孔、储气室及至少两个由体腔构成的体腔组，从入孔到出孔各体腔组所含体腔数量依次降低；体腔组中靠近入孔的体腔上设有进口腔、靠近出孔的体腔上设有与储气室连通的出口腔，入孔和出孔分别与其相邻体腔组的进口腔和出口腔连通；进出口腔与其内所装阀片构成进出口阀；两个泵体相连接并经密封圈将换能器压接在其体腔内，换能器及密封圈与泵体构成泵腔，同一体腔组内的泵腔并联成泵腔组，同一泵体上的泵腔组串联成泵单元，两个泵单元串联或并联；不同体腔组中的换能器经不同导线组与驱动电源相连，工作中同一泵单元内的同一体腔组中的换能器变形方向相同。