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本实用新型提供一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备，涉及化学沉积技术领域，包括底板，所述底板的顶部靠近一侧边缘处固定有存储箱，所述底板的顶部靠近另一侧边缘处固定有蒸发箱，所述底板的顶部位于存储箱的一侧和蒸发箱的一侧之间固定有反应器本体，所述反应器本体的顶部固定有沉积盒，所述沉积盒的一侧中心处焊接有固定块，所述固定块的一侧中心处开设有凹槽，所述凹槽的内部底面固定有两个弹簧，本实用新型，通过在设备顶部设置显示灯，使得通过灯光颜色向人们传达设备内蒸汽的排放情况，解决了传统的化学沉积设备无法显示内部蒸汽具体的排放程度，导致设备内部的蒸汽排放不干净，给人们的工作带来了困难的问题。