本发明提供一种基于LSPs耦合增强的紫外Micro‑LED,包括有源区、p型AlGaN层和金属纳米颗粒结构;所述有源区设置于p型AlGaN层下方;所述p型AlGaN层包括基材和多个栅柱,各栅柱等距设置在基材上,相邻的栅柱之间形成光栅槽;所述金属纳米颗粒结构设置于光栅槽内,所述金属纳米颗粒结构的高度为50nm‑90nm。本发明能够实现有源区的共振耦合,当金属纳米颗粒的高度为90nm时,有源区附近电场强度增强相对值为1.7,相比于现有的紫外Micro‑LED,具备更高的内量子效率,因而可以提升本申请的发光效率。
📄 2022100993381
📂 H01L33_44
👤 南京邮电大学
📅 2022-01-27