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本发明公开了旋转甩出微细液流传导激光与电化学微加工装置及方法，涉及特种加工领域中复合加工领域，接负极的轮盘工具电极高速旋转，将锥体中海绵吸附的电解液甩出呈现极细针尖状液流，通过极细针尖状液流形成工具与正极工件之间的导电回路，实现电化学微细加工；激光束经过光路和聚焦透镜，通过甩出电解液的全反射激光传导到达工件表面，实现激光与电化学的复合加工；软体磨削尖端对激光电解复合加工后的表面进行进一步的柔性磨削抛光，进一步提高加工表面质量；电解液过滤循环系统主要装置为板框式过滤器，对电解液槽中的溶液循环过滤。本发明通过周期性甩出的超微细液流实现了在工件表面加工出微细精密沟槽结构。

本发明公开了一种电控式电磁铁高频振动微加工平台，该微加工平台主要包括计算机、驱动器组块、高频控制器、三轴微平台、以及加工液箱。所述三轴微平台固定水平设置，采用分离式结构设计，包括底板、XY轴平台和Z轴平台。在加工运动时，首先做好设备的安装，通电；然后在触摸屏HMI上输入通电时长和断电时长，这样就能通过PLC来控制高频电磁铁不断的吸合和断开(断开后滑板块在重力作用下向下运动)进而实现高频的振动；接着按下触摸屏上的开关，高频振动就进入工作状态；最后再配合计算机来控制微平台的轴的运动，来实现具有高频振动的复合微加工。本发明还具有结构简单、操作方便、容易实施的优点。