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  • 专利名称:一种等离子体辅助多步骤连续制备渗层/非晶碳膜复合涂层的方法及其应用      申请号:202211029925X     转让价格:面议  收藏
    法律状态:已下证   类型:发明   关键词:复合涂层制备技术   相似专利 发布日:2025/07/09  
    摘要: 本发明涉及复合涂层制备技术领域,具体涉及一种等离子体辅助多步骤连续制备渗层/非晶碳膜复合涂层的方法及其应用,本发明利用梯度降温氩离子等离子体活化技术,衔接高温等离子体渗碳/氮和低温等离子体镀碳膜技术,利用多次高能氩离子轰击活化材料表面,去除渗层表面团簇状多孔疏松结构,使表面更加致密平整,促进后续非晶碳膜形核生长,形成一种高温氮/碳离子等离子体扩渗+梯度降温氩离子等离子体活化+低温碳离子等离子体镀膜多步骤连续制备渗层/非晶碳膜复合涂层的集成技术,并将其应用在轴承、齿轮等传动件、转动件领域。
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