光子晶体波导类专利转让_商标转让

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专利名称：一种硅光子晶体波导器件的飞秒激光制备系统及方法申请号：2018109590591 转让价格：面议收藏
法律状态：已下证类型：发明关键词：报警器光子晶体波导相似专利发布日：2025/04/07
摘要：本发明公开了一种硅光子晶体波导器件的飞秒激光制备系统及方法，系统包括飞秒激光器、多级半波片、偏振分光棱镜、第一反射镜、空间光调制器、第一透镜、第二反射镜、第三反射镜、第二透镜、电动翻转镜、第四反射镜、高倍物镜、三维加工平台、第三透镜、CCD相机、计算机；由飞秒激光器输出的激光通过多级半波片和偏振分光棱镜，经过反射镜射入空间光调制器；用计算机将加工方案生成全息图，加载到空间光调制器；光束经调制后通过第一透镜、第二反射镜、第三反射镜、第二透镜、第四反射镜，再经过高倍物镜聚焦到硅基片上，通过输入到计算机内的程序控制三维加工平台移动，完成加工任务。本发明加工步骤简易，加工精度高，加工速度快，加工成本低。

专利名称：基于光子晶体波导的十字红外偏振光桥申请号：201410108216X 转让价格：面议收藏
法律状态：已下证类型：发明关键词：光子晶体波导光子晶体波导相似专利发布日：2022/07/14

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