本发明公开了一种回收利用硅泥制备多晶硅锭的方法,包括如下步骤:S1、硅泥的提纯处理:将线锯切割硅锭得到的硅泥用去离子水调制成一定浓度的悬浮液,过滤除杂后可作为多晶硅铸锭原料硅泥使用;S2、准备铸锭用的坩埚:向坩埚内壁均匀涂敷涂层溶液,烘干后得到一定厚度的隔离层;S3、向坩埚内装填硅料,最后用涂敷有W2C涂层的硬毡盖覆盖坩埚;S4、铸锭:将S3中装有硅料的坩埚转移到铸锭炉中,采用定向凝固法制备太阳能级多晶硅硅锭,硅锭生长包括五个阶段分别为加热、熔化、长晶、退火和冷却等。本发明改进了铸锭炉的热场结构和铸锭工艺,实现了硅泥的回收利用,提升了铸锭质量。
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📂 C30B28_06
👤 安阳工学院
📅 2022-02-24