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专利名称:
一种基于光学倏逝波的非接触式高精度对刀系统
申请号:
2019104227869
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
高精度机械设备 刀具加工 刀具校准 对刀校准
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发布日:2025/04/17
摘要: 一种基于光学倏逝波的非接触式高精度对刀系统,涉及高精度机械设备中的刀具较准部件的设备领域。包括倏逝波生成模块、信号探测模块以及计算机,信号探测模块包括依次设置的物镜、凸透镜、带通滤波器以及信号探测器;刀具一开始可以轻轻触碰到倏逝波界面,然后按给定步长,例如:100nm,沿倏逝波界面的法线方向逐渐远离倏逝波界面,因为倏逝波沿界面法线方向呈指数式衰减,所以,刀具在脱离与界面接触后,与倏逝波作用产生的光强也会随着与界面距离的增加呈指数式衰减,因此,将刀具移动的距离和与倏逝波作用产生的光强进行拟合,可以得到刀具正好脱离与界面接触的位置,从而实现纳米级的精度校准。
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