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本发明公开了一种真空腔均热板的制造方法。现有真空均热板的热循环效率有待提高。本发明真空腔均热板的真空腔内设有相变传热工质；盖板内表面设有阵列式曲面沟槽和超疏水涂层；底板内表面设有多孔吸水介质。本发明制造方法：在底板上形成多孔吸水介质；各盖板内表面开设选好槽口形状的阵列式曲面沟槽，再在各盖板内表面涂上不同几何性质和分布特征的超疏水涂层，选好相变传热工质进行各盖板内表面液滴冷凝试验；分析超疏水涂层对合并诱导自推进过程中动力学行为间的参数边界的影响，得出液滴的能量分配规律，选定涂有满足要求的超疏水涂层的盖板与底板固定；制备底板和盖板之间的真空腔。本发明提高了真空腔均热板的整体传热效率。