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本发明公开了一种四氯化硅除杂方法及其装置。一种四氯化硅除杂方法包括如下步骤：S1.将离子液体干燥除水；S2.将四氯化硅加入干燥的无水离子液体；S3.将混合了四氯化硅的离子液体进行电解；S4.将经过电解的液体水浴加热，将加热得到的蒸汽冷凝，得到高纯四氯化硅。一种四氯化硅除杂装置，包含电源、惰性电极、密封且外表面绝缘的电解槽、水浴槽、冷凝器、蠕动泵以及成品罐；电源的正极连接惰性电极插入电解槽作为电解池的阳极，电源的负极连接惰性电极插入电解槽作为电解池的阴极，电解槽中间设置一个出口连接至冷凝器，冷凝器后连接有蠕动泵，随后连接至成品罐，电解槽放置于水浴槽内。本发明提出了一种新的四氯化硅的除杂方法，成本低，效果好。