光学衍射测量 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

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一种通过频域计算细丝衍射条纹的直径测量方法，包括：搭建一套衍射光路测量系统并利用CCD拍摄衍射条纹图像；确定成像范围起点；利用有限元方法和数值计算，模拟了夫琅禾费衍射中的电磁场传播过程并考虑CCD感光差异带来的噪声确定最佳条纹范围；最后通过对条纹拟合得到细丝直径。本发明计算简单，对实验装置的依赖性小，意味着使用频域进行参数测量的优越性，测量精度在亚纳米量级。此外，本发明证明了在频域中提取条纹周期信息的可行性，可以应用在其他需对周期信息分析的领域。

📄 2022105224200 📂 G01B11_08 👤 浙江工业大学 📅 2022-05-13

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一种通过频域计算细丝衍射条纹的直径测量方法

2022105224200 · 浙江工业大学

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