本发明公开了一种静压支撑宏微双驱动进给系统,涉及数控机床技术领域,包括:伺服电机、丝杠螺母组件、静压支撑组件、工作台、宏位移检测单元、微位移检测单元和控制系统;芯轴外圆柱面上沿圆周方向均布设置4个圆形腔,外套壁上沿圆周方向均布设置4个通孔;4个油垫单元的柱状体穿过通孔装配进圆形腔;柱状体的端面与圆形腔的底面之间形成油垫间隙;端面上进一步设置静压油腔,静压油腔内部充满压力油,压力油起到静压支撑的作用,通过控制4个油垫单元的静压油腔的压力大小,可以控制4个油垫间隙的大小,起到了微调芯轴单元与外套单元之间相对位置的作用,也就是微运动。所发明静压支撑宏微双驱动进给系统兼具大行程、高精度、重载的特性。
📄 2022108414480
📂 B23Q5_28
👤 青岛科技大学
📅 2022-07-18