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本发明公开了一种微波加热管式蒸发器及浓缩含氟稀硫酸的工艺，微波加热管式蒸发器包括上封头、不锈钢腔体、下封头、SiC列管上孔板、SiC列管下孔板和若干SiC列管，SiC列管的上下口分别安装在SiC列管上孔板和SiC列管下孔板上，并分别与上封头和下封头的内部空间相通；上封头上设有进料口和上出汽口；不锈钢腔体上设有微波发生器；下封头底部设置有下出料口。本发明采用碳化硅材质的列管，列管吸收微波后均匀快速升温，增强换热效率，同时避免了含氟稀硫酸对列管的腐蚀。含氟稀硫酸均匀快速地加热，在装有填料的SiC列管内可有效形成液膜蒸发，增加蒸发面积，提高传热系数，有益于氟化氢和水的快速蒸出。本发明的蒸发器具安全性，便于自动化和连续化运行。